Вплив нейтронного опромінення та термообробки на виникнення ефекту самоорганізації, Франца-Келдиша та квантово-розмірного ефектів у монокристалічному кремнії

Гроза, А. А.; Литовченко, П. Г.; Матвеєва, Л. О; Нелюба, П. Л.; Пінковська, М. Б.; Старчик, М. І.

За допомогою методу модуляційної спектроскопії електровідбивання (ЕВ) світла в області 3 - 3,8 еВ досліджено вплив опромінення швидкими нейтронами, ізотермічного відпалу та хімічного поліруючого травлення на оптичні та електронні параметри, а також внутрішні механічні напруження збагаченого киснем кремнію. Виявлено умови виникнення ефекту Франца - Келдиша, квантово-розмірного ефекту та гетерування поверхнею радіаційних дефектів. Визначено енергію електронного переходу (ширину забороненої зони), розсіяння носіїв заряду та час їх енергетичної релаксації, електрооптичну енергію, вбудоване електричне поле, енергії квантованих рівнів і ширину поверхневої квантової ями залежно від обробки зразків. Показано, що за великих флюенсів опромінення відбувається зміна знаку сигналу ЕВ і його розщеплення з зсувом максимумів у протилежні боки у порівнянні з вихідним зразком. Ефект великих доз пояснюється процесом самоорганізації власних радіаційних дефектів різного типу (вакансійного і міжвузловинного) шляхом виникнення відокремлених областей радіаційного розупорядкування з різними знаками механічних напружень. Обговорено механізми переносу носіїв заряду та особливості зонної структури нейтронно опроміненого кремнію.


	Наукова періодика України		Фізика і хімія твердого тіла