Наукова періодика України | Фізика і хімія твердого тіла | ||
Балабай Р. М. Вплив присутності атомів хрому на оксидацію плівки Si / Р. М. Балабай, О. М. Чернікова // Фізика і хімія твердого тіла. - 2012. - Т. 13, № 4. - С. 993-999. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2012_13_4_28 Для вияснення мікроскопічних механізмів прискорення процесу оксидації Si за присутності моношару Cr проведено теоретичне дослідження взаємодії атомарного кисню з тонкою плівкою кремнію за присутності атомів Cr. За допомогою методів функціонала електронної густини та псевдопотенціалу з перших принципів одержано розподіли густини валентних електронів та електронні енергетичні спектри для тонкої плівки кремнію за присутності моноатомного шару Cr та атомарного кисню. Спостережено послаблення зв'язків Si - Si у шарах плівки кремнію, близьких до моношару Cr. Реактивність атомів Cr збільшується за їх неповної окисненості. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Балабай Р. М. Вплив присутності атомів хрому на оксидацію плівки Si / Р. М. Балабай, О. М. Чернікова // Фізика і хімія твердого тіла. - 2012. - Т. 13, № 4. - С. 993-999. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2012_13_4_28.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |