Порівняльний аналіз сучасних кремнієвої і арсенідгалієвої субмікронних технологій формування структур швидкісних цифрових великих інтегральних схем

Новосядлий, С. П.; Кіндрат, Т. П.; Сорохтей, Т. Р.; Возняк, Ю. В.


	Наукова періодика України		Фізика і хімія твердого тіла

Новосядлий С. П.
Порівняльний аналіз сучасних кремнієвої і арсенідгалієвої субмікронних технологій формування структур швидкісних цифрових великих інтегральних схем / С. П. Новосядлий, Т. П. Кіндрат, Т. Р. Сорохтей, Ю. В. Возняк // Фізика і хімія твердого тіла. - 2012. - Т. 13, № 3. - С. 808-815. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2012_13_3_45

Показано тенденції та перспективи розвитку розробок транзисторних структур для промислового виготовлення конкурентних кремнієвих та арсенідгалієвих швидкісних цифрових великих інтегральних схем - елементно-технологічної та конструкторської бази засобів обчислювальної техніки. Висвітлено унікальні властивості як кремнієвої, так і арсенідгалієвої субмікронних технологій і можливості їх суміщення.

Повний текст PDF - 234.162 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Новосядлий С. П. Порівняльний аналіз сучасних кремнієвої і арсенідгалієвої субмікронних технологій формування структур швидкісних цифрових великих інтегральних схем / С. П. Новосядлий, Т. П. Кіндрат, Т. Р. Сорохтей, Ю. В. Возняк // Фізика і хімія твердого тіла. - 2012. - Т. 13, № 3. - С. 808-815. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2012_13_3_45.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Возняк Юрій Васильович (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача