На підставі використання сучасних методів досліджень у комбінації з методами хімічного селективного травлення вивчено структуру приповерхневого шару кремнію після окиснення та іонного легування, яка складалась з області полікристалічного кремнію та області, що містить дислокаційні сітки. Проведено порівняльний аналіз властивостей дислокаційних сіток, що виникають у процесі окиснення та легування. Показано, що дислокаційні сітки можуть слугувати основою для створення меза (проміжної) структури в різних деформаційних методах одержання квантових точок.

  Повний текст PDF - 442.797 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"