Секційні вакуумні нагрівачі для отримання парофазних конденсатів

Фреїк, Д. М.; Яворський, Я. С.; Потяк, В. Ю.; Яворський, Р. С.


	Наукова періодика України		Фізика і хімія твердого тіла

Фреїк Д. М.
Секційні вакуумні нагрівачі для отримання парофазних конденсатів / Д. М. Фреїк, Я. С. Яворський, В. Ю. Потяк, Р. С. Яворський // Фізика і хімія твердого тіла. - 2012. - Т. 13, № 2. - С. 509-511. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2012_13_2_40

Розроблено конструкції вакуумних секційних нагрівачів, за допомогою яких можна осаджувати парофазними методами тонкі плівки та наноструктури напівпровідникових сполук як різної товщини за заданої температури осадження, так і однакової товщини за різних температур осадження, а також двошарових структур, у єдиному технологічному циклі без розгерметизації вакуумної системи.

Повний текст PDF - 361.667 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Фреїк Д. М. Секційні вакуумні нагрівачі для отримання парофазних конденсатів / Д. М. Фреїк, Я. С. Яворський, В. Ю. Потяк, Р. С. Яворський // Фізика і хімія твердого тіла. - 2012. - Т. 13, № 2. - С. 509-511. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2012_13_2_40.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Яворський Ярослав Святославович (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача