| Наукова періодика України |
| Фізика і хімія твердого тіла |
Когут I. T. Моделювання розподілу електричних полів і порогових напруг в локальних тривимірних КНІ – структурах / I. T. Когут // Фізика і хімія твердого тіла. - 2011. - Т. 12, № 4. - С. 1085-1091. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2011_12_4_42 Наведено результати моделювання оригінальних методів формування тривимірних (3В) інтегральних елементів зі структурою кремній-на-ізоляторі (КНІ), які за сумісними технологіями виготовлення одночасно можуть бути комбіновані з одно- і/або дворівневими мікропорожнинами під поверхнею кремнієвою пластини. Такі елементи відкривають додаткові можливості для створення нової елементної бази інтегральних схем, мікросистем і мікролабораторій-на-кристалі. Шляхом моделювання досліджено розподіл електричних полів і напруженостей в приладних 3В КНІ-структурах. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Когут I. T. Моделювання розподілу електричних полів і порогових напруг в локальних тривимірних КНІ – структурах / I. T. Когут // Фізика і хімія твердого тіла. - 2011. - Т. 12, № 4. - С. 1085-1091. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2011_12_4_42. Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця" |
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
|||||
