Проведено еліпсометричні дослідження будови приповерхневої зони природних граней росту монокристалів 6H-SiC. Встановлено, що на поверхні зразків існує плівка, за припущенням природного окису (аморфного кварцу), із проміжним шаром іншого політипу на межі між підкладинкою та плівкою, ймовірно кубічного карбіду кремнію. Товщина поверхневої плівки змінюється у межах 4 - 10 нм для різних зразків, товщина проміжного шару може становити від 45 - 60 нм до величини порядка довжини світлової хвилі видного діапазону. В області 1,4 - 4,8 еВ визначено показник заломлення основного матеріалу. Встановлено, що показник поглинання є близьким до нуля і меншим за чутливість еліпсометричної методики, тобто приблизно 0,05, за умови врахування поверхневої плівки. Це свідчить про відсутність прямих дозволених переходів у карбіді кремнію аж до 4,8 еВ. Значення показника заломлення є близькими до значень показника заломлення кубічного карбіду кремнію.

  Повний текст PDF - 165.697 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"