Фізичні принципи росту товстих структурно досконалих плівок ZnO при магнетронному розпиленні

Євтушенко, А .І.; Лазоренко, В. Й.; Лашкарьов, Г. В.; Карпина, В. А.; Батурин, В. А.; Карпенко, А. Ю.; Удовенко, Л. М.


	Наукова періодика України		Фізика і хімія твердого тіла

Євтушенко А .І.
Фізичні принципи росту товстих структурно досконалих плівок ZnO при магнетронному розпиленні / А .І. Євтушенко, В. Й. Лазоренко, Г. В. Лашкарьов, В. А. Карпина, В. А. Батурин, А. Ю. Карпенко, Л. М. Удовенко // Фізика і хімія твердого тіла. - 2011. - Т. 12, № 2. - С. 325-331. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2011_12_2_10

Запропоновано новий принцип росту плівок ZnO контрольованої товщини з використанням методу магнетронного розпилення. Досліджено структуру та фотолюмінесцентні властивості плівок, вирощених на сапфірових, кремнієвих і скляних підкладках. Продемонстровано, що всі плівки, осаджені з використанням запропонованої процедури на різні типи підкладок, є структурно досконалими та високотекстурованими та володіють високою інтенсивністю ультрафіолетової люмінесценції.

Повний текст PDF - 306.589 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Євтушенко А .І. Фізичні принципи росту товстих структурно досконалих плівок ZnO при магнетронному розпиленні / А .І. Євтушенко, В. Й. Лазоренко, Г. В. Лашкарьов, В. А. Карпина, В. А. Батурин, А. Ю. Карпенко, Л. М. Удовенко // Фізика і хімія твердого тіла. - 2011. - Т. 12, № 2. - С. 325-331. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2011_12_2_10.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Євтушенко Альона Іванівна (фізико-математичні науки)

Євтушенко Арсеній Іванович (фізико-математичні науки)

Лашкарьов Георгій Вадимович (1937–2019) (фізико-математичні науки)

Карпина Віталій Анатолійович (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача