Показано роль пластичної деформації в процесі одержання шарів наноструктурованого кремнію (НСК). Процес одержання НСК полягає в тому, що на поверхні кремнієвої пластини вирощуються шари окислу кремнію різної товщини з подальшим їх видаленням та обробкою в хімічних травниках до появи бездефектного острівкового кремнію, що має фотолюмінесцентні властивості, притаманні нанокремнію. Наведено спектри інтенсивності фотолюмінесценції нанокремнію для різної товщини вирощеного оксиду кремнію. Розглянуто різні механізми зсуву максимуму інтенсивності спектра фотолюмінесценції в короткохвильову область спектра.

  Повний текст PDF - 1.642 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"