Наукова періодика України | Проблемы прочности | ||
Her S. C. Annealing Effect on the Microstructure and Mechanical Properties of a Thin Titanium Nitride Film / S. C. Her, C. L. Wu // Проблемы прочности. - 2014. - № 2. - С. 66-72. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PPT_2014_2_10 С помощью метода магнетронного напыления при постоянном токе на стальную подложку SUS 304 наносили нитрид-титановые пленки. Детально исследовано влияние отжига после нанесения пленок на микроструктуру и их механические свойства с помощью метода атомно-силовой микроскопии, стабилизатора напряжения и наноиндентирования. Нитрид-титановые пленки обжигали при температуре 100 - 300 <$E symbol Р>C. Шероховатость их поверхности, исследуемая методом атомно-силовой микроскопии, уменьшилась с 3,83 до 2,43 нм при повышении температуры отжига в интервале 100 - 300 <$E symbol Р>C. Скорость коррозии пленок, измеренная с помощью стабилизатора напряжений в 0,5 % молярном растворе H Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Her S. C. Annealing Effect on the Microstructure and Mechanical Properties of a Thin Titanium Nitride Film / S. C. Her, C. L. Wu // Проблемы прочности. - 2014. - № 2. - С. 66-72. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PPT_2014_2_10. Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |