Наукова періодика України Проблемы прочности


Her S. C. 
Annealing Effect on the Microstructure and Mechanical Properties of a Thin Titanium Nitride Film / S. C. Her, C. L. Wu // Проблемы прочности. - 2014. - № 2. - С. 66-72. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PPT_2014_2_10
С помощью метода магнетронного напыления при постоянном токе на стальную подложку SUS 304 наносили нитрид-титановые пленки. Детально исследовано влияние отжига после нанесения пленок на микроструктуру и их механические свойства с помощью метода атомно-силовой микроскопии, стабилизатора напряжения и наноиндентирования. Нитрид-титановые пленки обжигали при температуре 100 - 300 <$E symbol Р>C. Шероховатость их поверхности, исследуемая методом атомно-силовой микроскопии, уменьшилась с 3,83 до 2,43 нм при повышении температуры отжига в интервале 100 - 300 <$E symbol Р>C. Скорость коррозии пленок, измеренная с помощью стабилизатора напряжений в 0,5 % молярном растворе H2SO4, снизилась с <$E 8,57~cdot~10 sup -2> до <$E 4,59~cdot~10 sup -2> мм, тогда как температура отжига повысилась с 100 до 300 <$E symbol Р>C. Рост коррозионной стойкости зависит от увеличения твердости и модуля упругости пленки с температурой отжига. Исследование пленки посредством метода атомно-силовой микроскопии показало, что нитрид титана, который обжигался при более высокой температуре, имеет мелкозернистую структуру. Установлено, что механические свойства нитрид-титановых пленок можно значительно улучшить путем отжига. Получил подтверждение тот факт, что контроль процесса отжига крайне необходим для усовершенствования свойств нитрид-титановых пленок.
  Повний текст PDF - 285.087 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Her S.
  • Wu C.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Her S. C. Annealing Effect on the Microstructure and Mechanical Properties of a Thin Titanium Nitride Film / S. C. Her, C. L. Wu // Проблемы прочности. - 2014. - № 2. - С. 66-72. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PPT_2014_2_10.

      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського