Наукова періодика України | Науковий вісник Ужгородського університету | ||
Girka O. I. Focused ion source for the microelectronics thin films processing / O. I. Girka, I. O. Bizyukov, O. A. Bizyukov, K. M. Sereda, O. V. Romashchenko // Науковий вісник Ужгородського університету. Сер. : Фізика. - 2011. - Вип. 30. - С. 45-51. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Nvuufiz_2011_30_8 Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Girka O. I. Focused ion source for the microelectronics thin films processing / O. I. Girka, I. O. Bizyukov, O. A. Bizyukov, K. M. Sereda, O. V. Romashchenko // Науковий вісник Ужгородського університету. Сер. : Фізика. - 2011. - Вип. 30. - С. 45-51. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Nvuufiz_2011_30_8. Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |