Наукова періодика України Науковий вісник Ужгородського університету


Girka O. I. 
Focused ion source for the microelectronics thin films processing / O. I. Girka, I. O. Bizyukov, O. A. Bizyukov, K. M. Sereda, O. V. Romashchenko // Науковий вісник Ужгородського університету. Сер. : Фізика. - 2011. - Вип. 30. - С. 45-51. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Nvuufiz_2011_30_8
  Повний текст PDF - 629.053 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Girka O.
  • Bizyukov I.
  • Bizyukov O.
  • Sereda K.
  • Romashchenko O.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Girka O. I. Focused ion source for the microelectronics thin films processing / O. I. Girka, I. O. Bizyukov, O. A. Bizyukov, K. M. Sereda, O. V. Romashchenko // Науковий вісник Ужгородського університету. Сер. : Фізика. - 2011. - Вип. 30. - С. 45-51. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Nvuufiz_2011_30_8.

      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського