Моделирование процесса образования поликристаллического кремния в проточном реакторе

Скачков, В. А.; Критская, Т. В.; Бережная, О. Р.; Шварцман, Л. Я.; Меркер, Р.


	Наукова періодика України		Наукові нотатки

Скачков В. А.
Моделирование процесса образования поликристаллического кремния в проточном реакторе / В. А. Скачков, Т. В. Критская, О. Р. Бережная, Л. Я. Шварцман, Р. Меркер // Наукові нотатки. - 2013. - Вип. 40. - С. 257-260. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Nn_2013_40_48

Повний текст PDF - 410.003 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Скачков В. А. Моделирование процесса образования поликристаллического кремния в проточном реакторе / В. А. Скачков, Т. В. Критская, О. Р. Бережная, Л. Я. Шварцман, Р. Меркер // Наукові нотатки. - 2013. - Вип. 40. - С. 257-260. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Nn_2013_40_48.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Критська Тетяна Володимирівна (1948–) (технічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача