Наукова періодика України | Наукові нотатки | ||
Коровицький А. М. Оптимізація технології отримання стабільного плазмового розряду у вакуумній камері ВУП5М при магнетронному напиленні / А. М. Коровицький, Т. І. Коменда, О. З. Калуш, І. М. Колядинський, І. М. Панасюк // Наукові нотатки. - 2010. - Вип. 27. - С. 147-150. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Nn_2010_27_29 Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Коровицький А. М. Оптимізація технології отримання стабільного плазмового розряду у вакуумній камері ВУП5М при магнетронному напиленні / А. М. Коровицький, Т. І. Коменда, О. З. Калуш, І. М. Колядинський, І. М. Панасюк // Наукові нотатки. - 2010. - Вип. 27. - С. 147-150. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Nn_2010_27_29.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |