| Наукова періодика України |
| Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
Косенок Я. А. Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике / Я. А. Косенок, В. Е. Гайшун, О. И. Тюленкова, В. В. Туров, Д. П. Савицкий // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. - 2014. - Т. 12, Вип. 2. - С. 269-277. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Nano_2014_12_2_9 Исследовано реологическое поведение композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния, которые могут быть использованы на II-й стадии полировки пластин монокристаллического кремния и других полупроводниковых материалов. Приведены физически обоснованные формулы для описания эффективной вязкости в зависимости от степени равновесного разрушения и тиксотропного восстановления связей структуры в процессе течения композиционной суспензии. Формулы сравниваются с результатами, полученными экспериментальным путем. Приведены данные о режимах полировки и качестве поверхности пластин монокристаллического кремния после полировки с использованием композиционной суспензии. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Косенок Я. А. Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике / Я. А. Косенок, В. Е. Гайшун, О. И. Тюленкова, В. В. Туров, Д. П. Савицкий // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. - 2014. - Т. 12, Вип. 2. - С. 269-277. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Nano_2014_12_2_9. Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця" |
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
|||||
