Определена адгезионная прочность тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах (кремнии Кр0, оптическом стекле К8) с применением метода атомно-силовой микроскопии и использованием многопроходного сканирования образца с постепенным внедрением зонда атомно-силового микроскопа в исследуемую поверхность. Подобран режим качественного определения адгезионной прочности тонких покрытий путем подбора шага внедрения зонда в диапазоне глубин 1 - 10 нм. Установлено, что с увеличением толщины покрытия его адгезионная прочность уменьшается по экспоненциальному закону.

  Повний текст PDF - 277.208 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"