Рассмотрена возможность создания диэлектрических SiO2-покрытий на основе золь-гель-метода путем гидролиза металлоорганических соединений кремния в водно-спиртовой смеси. Описаны оптимальные параметры нанесения и термообработки для получения однородных покрытий на поверхности монокристаллического кремния. Выполнены исследования механической стойкости к истиранию как основного вида испытания покрытий на прочность и адгезию к поверхности подложки. С помощью методу ИК-спектроскопии изучены фазовые и структурные превращений в процессе формирования золь-гель-пленок. С помощью метода аморфных металлических сплавов установлены зависимости состояния и морфологии поверхности покрытий от состава исходного пленкообразующего раствора и технологических режимов получения диэлектрических пленок. Проанализированы электрофизические свойства сформированных металл - диэлектрик - полупроводник-структур в зависимости от состава пленкообразующего раствора.

  Повний текст PDF - 449.368 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"