Влияние отвода парогазовой смеси из камеры выращивания монокристаллов кремния на надежность графитовой оснастки

Голев, Е. А.; Червоный, И. Ф.


	Наукова періодика України		Металургія

Голев Е. А.
Влияние отвода парогазовой смеси из камеры выращивания монокристаллов кремния на надежность графитовой оснастки / Е. А. Голев, И. Ф. Червоный // Металургія. - 2015. - Вип. 1. - С. 67-70. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Metalurg_2015_1_16

Повний текст PDF - 665.381 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Голев Е.

Червоный И.

Бібліографічний опис для цитування:

Голев Е. А. Влияние отвода парогазовой смеси из камеры выращивания монокристаллов кремния на надежность графитовой оснастки / Е. А. Голев, И. Ф. Червоный // Металургія. - 2015. - Вип. 1. - С. 67-70. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Metalurg_2015_1_16.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача