Наукова періодика України Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics

Bacherikov Yu. Yu. 
Thin dysprosium oxide films formed by rapid thermal annealing on porous SiC substrates / Yu. Yu. Bacherikov, R. V. Konakova, O. B. Okhrimenko, N. I. Berezovska, O. S. Lytvyn, L. M. Kapitanchuk, A. M. Svetlichnyi // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2018. - Vol. 21, № 4. - С. 360-364. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2018_21_4_7
In this paper, we consider the effect of rapid thermal annealing (RTA) on the properties of Dy2O3 film formed on the surface of a substrate with a por-SiC/SiC structure. The atomic composition of the films under study was analyzed as a function of the RTA time. It is shown that the RTA method makes it possible to obtain thin Dy oxide films with a composition close to the stoichiometric one. In this case, an increase in the RTA time leads to improving the quality of film-substrate interface and increasing the optical transmission of Dy2O3/por-SiC/SiC structure.
  Повний текст PDF - 1.531 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Bacherikov Y.
  • Konakova R.
  • Okhrimenko O.
  • Berezovska N.
  • Lytvyn O.
  • Kapitanchuk L.
  • Svetlichnyi A.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Bacherikov Yu. Yu. Thin dysprosium oxide films formed by rapid thermal annealing on porous SiC substrates / Yu. Yu. Bacherikov, R. V. Konakova, O. B. Okhrimenko, N. I. Berezovska, O. S. Lytvyn, L. M. Kapitanchuk, A. M. Svetlichnyi // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2018. - Vol. 21, № 4. - С. 360-364. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2018_21_4_7.
    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Бачеріков Юрій Юрійович (фізико-математичні науки)
  • Конакова Раїса Василівна (1941–) (фізико-математичні науки)
  • Березовська Наталія Іванівна (1960–) (фізико-математичні науки)
  • Капітанчук Леонід Мусійович (фізико-математичні науки)
  • Капітанчук Леонiд Мусійович (технічні науки)
    •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського