Наукова періодика України Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics


Bacherikov Yu. Yu. 
Optical properties of thin erbium oxide films formed by rapid thermal annealing on SiC substrates with different structures / Yu. Yu. Bacherikov, R. V. Konakova, O. B. Okhrimenko, N. I. Berezovska, L. M. Kapitanchuk, A. M. Svetlichnyi // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2017. - Vol. 20, № 4. - С. 465-469. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2017_20_4_13
The comparative analysis of optical characteristics inherent to Er2O3/SiC and Er2O3/por-SiC/SiC structures has been performed. It has been shown that, regardless the substrate on which the Er2O3 film is formed, an increase in the rapid thermal annealing time leads to an improvement in the oxide film composition, with the composition of the Er2O3 film approaching to the stoichiometric one. At the same time, introduction of an additional porous SiC layer leads to a blurring of the oxide film/substrate interface and broadening the photoluminescence band measured in this structure.
  Повний текст PDF - 167.795 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Bacherikov Y.
  • Konakova R.
  • Okhrimenko O.
  • Berezovska N.
  • Kapitanchuk L.
  • Svetlichnyi A.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Bacherikov Yu. Yu. Optical properties of thin erbium oxide films formed by rapid thermal annealing on SiC substrates with different structures / Yu. Yu. Bacherikov, R. V. Konakova, O. B. Okhrimenko, N. I. Berezovska, L. M. Kapitanchuk, A. M. Svetlichnyi // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2017. - Vol. 20, № 4. - С. 465-469. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2017_20_4_13.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Бачеріков Юрій Юрійович (фізико-математичні науки)
  • Конакова Раїса Василівна (1941–) (фізико-математичні науки)
  • Березовська Наталія Іванівна (1960–) (фізико-математичні науки)
  • Капітанчук Леонід Мусійович (фізико-математичні науки)
  • Капітанчук Леонiд Мусійович (технічні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського