Наукова періодика України Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics

Sabov T. M. 
Oxygen ion-beam modification of vanadium oxide films for reaching a high value of the resistance temperature coefficient / T. M. Sabov, O. S. Oberemok, O. V. Dubikovskyi, V. P. Melnik, V. P. Kladko, B. M. Romanyuk, V. G. Popov, O. Yo. Gudymenko, N. V. Safriuk // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2017. - Vol. 20, № 2. - С. 153-158. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2017_20_2_3
A new method to prepare vanadium oxide with a high temperature coefficient of resistance (TCR) and low resistance for uncooled micro-bolometers has been proposed. Amorphous vanadium oxide films with V2O3 phase inclusions have been fabricated on silicon and silica substrates at the temperature <$E200~symbol Р roman C> by using the direct current reactive magnetron sputtering method in controlled Ar/O2 atmosphere. Additional oxygen ion implantation in the deposited films allows to synthesize vanadium oxide with crystalline inclusions of VO2 and V2O5 phases under the low temperature annealing. The following long low-temperature annealing provides formation of VOx (at <$Ex~symbol О~2>) film with the TCR close to <$E7,0~% "/" ~symbol Р roman C>.
  Повний текст PDF - 379.631 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Sabov T.
  • Oberemok O.
  • Dubikovskyi O.
  • Melnik V.
  • Kladko V.
  • Romanyuk B.
  • Popov V.
  • Gudymenko O.
  • Safriuk N.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Sabov T. M. Oxygen ion-beam modification of vanadium oxide films for reaching a high value of the resistance temperature coefficient / T. M. Sabov, O. S. Oberemok, O. V. Dubikovskyi, V. P. Melnik, V. P. Kladko, B. M. Romanyuk, V. G. Popov, O. Yo. Gudymenko, N. V. Safriuk // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2017. - Vol. 20, № 2. - С. 153-158. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2017_20_2_3.
    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Сабов Томаш Мар'янович (фізико-математичні науки)
  • Оберемок Олександр Степанович (фізико-математичні науки)
  • Дубіковський Олександр Володимирович (фізико-математичні науки)
  • Романюк Борис Миколайович (фізико-математичні науки)
  • Попов Всеволод Геннадійович (фізико-математичні науки)
  • Попов Валентин Георгійович (фізико-математичні науки)
    •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського