Наукова періодика України Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics


Pashchenko G. A. 
Modeling the process of removal aimed at cut traces on semiconductor wafers by using the method of contactless chemical-and-dynamical polishing / G. A. Pashchenko, M. Yu. Kravetskyi, A. V. Fomin // Semiconductor physics quantum electronics & optoelectronics. - 2015. - Vol. 18, № 3. - С. 330-333. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2015_18_3_18
Used in this work is the stationary model of the process of chemical-and-dynamical polishing (CDP) the substrates in the case of balance between diffusion, convective and chemical fluxes. Obtained has been an analytical expression relating the surface shape in processed material with physical parameters of processes taking place under CDP. Calculations performed by the authors enabled to find technological regimes of processing that provides total removal of linear morphological defects from the surface of substrates after cutting. Comparison of experimental profilograms taken from the processed surfaces with theoretical dependences showed their satisfactory agreement.
  Повний текст PDF - 176.862 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Pashchenko G.
  • Kravetskyi M.
  • Fomin A.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Pashchenko G. A. Modeling the process of removal aimed at cut traces on semiconductor wafers by using the method of contactless chemical-and-dynamical polishing / G. A. Pashchenko, M. Yu. Kravetskyi, A. V. Fomin // Semiconductor physics quantum electronics & optoelectronics. - 2015. - Vol. 18, № 3. - С. 330-333. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2015_18_3_18.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Пащенко Галина Андріївна (фізико-математичні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського