Effect of electron irradiation on transparent conductive films ZnO:Al deposited at different power sputtering

Myroniuk, D. V.; Ievtushenko, A. I.; Lashkarev, G. V.; Maslyuk, V. T.; Timofeeva, I. I.; Baturin, V. A.; Karpenko, O. Y.; Kuznetsov, V. M.; Dranchuk, M. V.


	Наукова періодика України		Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics

Myroniuk D. V.
Effect of electron irradiation on transparent conductive films ZnO:Al deposited at different power sputtering / D. V. Myroniuk, A. I. Ievtushenko, G. V. Lashkarev, V. T. Maslyuk, I. I. Timofeeva, V. A. Baturin, O. Y. Karpenko, V. M. Kuznetsov, M. V. Dranchuk // Semiconductor physics quantum electronics & optoelectronics. - 2015. - Vol. 18, № 3. - С. 286-291. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2015_18_3_10

Transparent conductive oxide thin films of Al-doped ZnO grown by rf magnetron sputtering were irradiated with high energy electrons with the energy 12,6 MeV and fluence <$E5~cdot~10 sup 14> e/cm<^>2. The films were produced using different sputtering powers. It has been shown that electron irradiation creates defects that lead to distortions of the crystal lattice, which results in reduced crystallinity of the films. Also, it leads to film heating that results in radiation annealing and relaxation of the lattice.

Повний текст PDF - 183.628 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Myroniuk D. V. Effect of electron irradiation on transparent conductive films ZnO:Al deposited at different power sputtering / D. V. Myroniuk, A. I. Ievtushenko, G. V. Lashkarev, V. T. Maslyuk, I. I. Timofeeva, V. A. Baturin, O. Y. Karpenko, V. M. Kuznetsov, M. V. Dranchuk // Semiconductor physics quantum electronics & optoelectronics. - 2015. - Vol. 18, № 3. - С. 286-291. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2015_18_3_10.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Миронюк Денис Валерійович (фізико-математичні науки)

Євтушенко Арсеній Іванович (фізико-математичні науки)

Маслюк Володимир Трохимович (фізико-математичні науки)

Дранчук Микола Володимирович (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача