Наукова періодика України Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics

Shapovalov A. P. 
Structure and optical properties of AlN films obtained using the cathodic arc plasma deposition technique / A. P. Shapovalov, I. V. Korotash, E. M. Rudenko, F. F. Sizov, D. S. Dubyna, L. S. Osipov, D. Yu. Polotskiy, Z. F. Tsybrii, A. A. Korchovyi // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2015. - Vol. 18, № 2. - С. 117-122. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2015_18_2_3
Aluminum nitride (AlN) film coatings have been obtained by a new technique of hybrid helikon-arc ion-plasma deposition. Possibility to combine the magnetic-filtered arc plasma deposition technique with a treatment in RF plasma of helicon discharge allowed us to deposit AlN coatings on thermolabile substrates, significantly increasing the deposition rate. A study of spectral properties of AlN films (reflection and transmission spectra within the range 2 - 25 µm) has been carried out by using the infrared Fourier spectrometer Spectrum BX-II. It has been shown that the obtained composite structures (AlN coatings on teflon and mylar substrates) could be used as passive filters in the infrared spectral range.
  Повний текст PDF - 429.139 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Shapovalov A.
  • Korotash I.
  • Rudenko E.
  • Sizov F.
  • Dubyna D.
  • Osipov L.
  • Polotskiy D.
  • Tsybrii Z.
  • Korchovyi A.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Shapovalov A. P. Structure and optical properties of AlN films obtained using the cathodic arc plasma deposition technique / A. P. Shapovalov, I. V. Korotash, E. M. Rudenko, F. F. Sizov, D. S. Dubyna, L. S. Osipov, D. Yu. Polotskiy, Z. F. Tsybrii, A. A. Korchovyi // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2015. - Vol. 18, № 2. - С. 117-122. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2015_18_2_3.
    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Сизов Федір Федорович (1946–) (фізико-математичні науки)
  • Цибрій Зіновія Федорівна (фізико-математичні науки)
  • Корчовий Андрій Адамович (фізико-математичні науки)
    •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського