Наукова періодика України Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics


Gorbov I. V. 
High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching / I. V. Gorbov, A. A. Kryuchyn, K. P. Grytsenko, D. Yu. Manko, Yu. O. Borodin // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2014. - Vol. 17, № 1. - С. 52-55. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2014_17_1_12
Pits 250 - 300 nm wide were obtained on the surface of thin organic nanocomposite film using master-disc laser-burning station with 405 nm laser beam focused by 0,85 NA lens. The film with obtained pits was used as a mask for subsequent reactive ion-beam etching of glass substrate. Finally, 150 - 200 nm pits were performed on the substrate surface. Nanocomposite films were based on organic positive photoresist with a dye inclusions. This dye is characterized by wide absorption band within the spectral region 390 - 410 nm and can be evaporated by laser irradiation with the wavelength 405 nm.
  Повний текст PDF - 1.279 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Gorbov I.
  • Kryuchyn A.
  • Grytsenko K.
  • Manko D.
  • Borodin Y.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Gorbov I. V. High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching / I. V. Gorbov, A. A. Kryuchyn, K. P. Grytsenko, D. Yu. Manko, Yu. O. Borodin // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2014. - Vol. 17, № 1. - С. 52-55. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2014_17_1_12.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Крючин Андрій Андрійович (1948–) (технічні науки)
  • Гриценко Костянтин Петрович (фізико-математичні науки)
  • Манько Дмитро Юрійович (фізико-математичні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського