Наукова періодика України Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics


Yasunas A. 
Low-temperature deposition of silicon dioxide films in high-density plasma / A. Yasunas, D. Kotov, V. Shiripov, U. Radzionay // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2013. - Vol. 16, № 2. - С. 216-219. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2013_16_2_24
One of the basic operations in the LED (light-emitting diode) chip fabrication technique is formation of dielectric coatings for the purpose of insulation and surface passivation of the LED structure. Oxides and nitrides of silicon obtained by physical or chemical vapor deposition techniques can act as such a coating. Low conformity of physical vapor deposition techniques limits the possibility of their application in a number of cases at LED mesostructures passivation. This work represents the results of experiments on silicon dioxide dielectric films deposition in the inductive coupled plasma under different operation conditions. The findings prove the possibility of low-temperature deposition of thick silicon dioxide films with high conformality by the HDPCVD (high-density plasma chemical vapor deposition) technique.
  Повний текст PDF - 531.515 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Yasunas A.
  • Kotov D.
  • Shiripov V.
  • Radzionay U.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Yasunas A. Low-temperature deposition of silicon dioxide films in high-density plasma / A. Yasunas, D. Kotov, V. Shiripov, U. Radzionay // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2013. - Vol. 16, № 2. - С. 216-219. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2013_16_2_24.

      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського