Наукова періодика України Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics


Sarikov A. 
Characteristics of gettering process in multicrystalline Si wafers with combined porous Si/Al getters / A. Sarikov, V. Naseka // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2012. - Vol. 15, № 1. - С. 8-12. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2012_15_1_4
  Повний текст PDF - 200.263 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Sarikov A.
  • Naseka V.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Sarikov A. Characteristics of gettering process in multicrystalline Si wafers with combined porous Si/Al getters / A. Sarikov, V. Naseka // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2012. - Vol. 15, № 1. - С. 8-12. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2012_15_1_4.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Саріков Андрій Вікторович (фізико-математичні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського