Наукова періодика України | Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics | ||
Sarikov A. Characteristics of gettering process in multicrystalline Si wafers with combined porous Si/Al getters / A. Sarikov, V. Naseka // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2012. - Vol. 15, № 1. - С. 8-12. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2012_15_1_4 Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Sarikov A. Characteristics of gettering process in multicrystalline Si wafers with combined porous Si/Al getters / A. Sarikov, V. Naseka // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2012. - Vol. 15, № 1. - С. 8-12. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2012_15_1_4.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |