Electrical properties of semiconductor structures with Si nanoclusters in SiO2 grown by high temperature annealing technology of SiOX layer, X<2

Bunak, S. V.; Buyanin, A. A.; Ilchenko, V. V.; Marin, V. V.; Melnik, V. P.; Khacevich, I. M.; Tretyak, O. V.; Shkavro, A. G.

Bunak S. V.
Electrical properties of semiconductor structures with Si nanoclusters in SiO2 grown by high temperature annealing technology of SiOX layer, X<2 / S. V. Bunak, A. A. Buyanin, V. V. Ilchenko, V. V. Marin, V. P. Melnik, I. M. Khacevich, O. V. Tretyak, A. G. Shkavro // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2010. - Vol. 13, № 1. - С. 12-18. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2010_13_1_5

The theoretical and experimental investigations of electrical properties of the SiO2/Si-ncs/SiO2/Si structures grown by high temperature annealing SiOX, <$Eroman X~<<~2>, have been carried out. The influence of Si cluster growth conditions on frequency dependences of <$EC~-~V> characteristics, static and dynamic conductance of investigated structures has been clearly observed. As a result of theoretical modeling, <$EC~-~V> dependences have been calculated. The experimentally obtained negative constituent of differential capacitance has been qualitatively described. It has been experimentally found that the SiO2/Si-ncs/SiO2/Si structures with the tunnel dielectric layer revealed the effect of memorizing.

Повний текст PDF - 344.143 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Bunak S. V. Electrical properties of semiconductor structures with Si nanoclusters in SiO2 grown by high temperature annealing technology of SiOX layer, X<2 / S. V. Bunak, A. A. Buyanin, V. V. Ilchenko, V. V. Marin, V. P. Melnik, I. M. Khacevich, O. V. Tretyak, A. G. Shkavro // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2010. - Vol. 13, № 1. - С. 12-18. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2010_13_1_5.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача


	Наукова періодика України		Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics