The features of temperature dependence of contact resistivity of Au Ti Pd2Si p+-Si ohmic contacts

Belyaev, A. E.; Boltovets, N. S.; Kapitanchuk, L. M.; Konakova, R. V.; Kladko, V. P.; Kudryk, Ya. Ya.; Kuchuk, A. V.; Lytvyn, O. S.; Milenin, V. V.; Korostinskaya, T. V.; Ataubaeva, A. B.; Nevolin, P. V.


	Наукова періодика України		Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics

Belyaev A. E.
The features of temperature dependence of contact resistivity of Au Ti Pd2Si p+-Si ohmic contacts / A. E. Belyaev, N. S. Boltovets, L. M. Kapitanchuk, R. V. Konakova, V. P. Kladko, Ya. Ya. Kudryk, A. V. Kuchuk, O. S. Lytvyn, V. V. Milenin, T. V. Korostinskaya, A. B. Ataubaeva, P. V. Nevolin // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2010. - Vol. 13, № 1. - С. 8-11. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2010_13_1_4

We consider the features of formation of Au - Ti - Pd ohmic contacts to <$E p sup +>-S. Metallization was made by vacuum thermal sputtering of Pd, Ti and Au films onto the Si substrate heated up to 330 <$E symbol Р>C. It is shown that the contact resistivity increases wil temperature; this is typical of metallic conductivity. We suggest that the ohmic contact formed owing to appearance of shunts at Pd deposition on dislocations or other structural defects. The number of shunts per unit area is close to the measured density of structural defects at the metal - Si interface.

Повний текст PDF - 527.135 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Belyaev A. E. The features of temperature dependence of contact resistivity of Au Ti Pd2Si p+-Si ohmic contacts / A. E. Belyaev, N. S. Boltovets, L. M. Kapitanchuk, R. V. Konakova, V. P. Kladko, Ya. Ya. Kudryk, A. V. Kuchuk, O. S. Lytvyn, V. V. Milenin, T. V. Korostinskaya, A. B. Ataubaeva, P. V. Nevolin // Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics. - 2010. - Vol. 13, № 1. - С. 8-11. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MSMW_2010_13_1_4.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Бєляєв Олександр Євгенович (1947–) (фізико-математичні науки)

Капітанчук Леонід Мусійович (фізико-математичні науки)

Капітанчук Леонiд Мусійович (технічні науки)

Конакова Раїса Василівна (1941–) (фізико-математичні науки)

Кучук Андріан Володимирович (1979–) (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача