Експериментально досліджено зовнішній і внутрішній розмірні ефекти, що реалізуються у внутрішніх (власних) і термічних напруженнях мідних конденсатів на підложжях монокристалічного кремнію. Вивчено поведінку максимальних внутрішніх напружень зі зміною товщини плівки та швидкості осадження. Формування внутрішніх напружень пояснюється з позиції міжфазної взаємодії в системі конденсат - підложжя та у структурі конденсату. Показано, що процес конденсації металу на підложжя супроводжується орієнтаційною зміною енергетичних параметрів міжфазної взаємодії: міжфазної енергії, міжфазного натягу, енергії адгезійних зв'язків і роботи адгезії на стадіях наноконденсату (поверхня кремнію - металічний наноконденсат) і суцільної плівки (попередній шар - наступний шар). Досліджено вплив розмірної залежності механічних параметрів плівки на термічну компоненту механічних напружень.

  Повний текст PDF - 812.198 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"