Скользящая дифракция (grazing incidence diffraction - GID) рентгеновских лучей, падающих под малыми углами (сравнимых с углом полного внешнего отражения), является мощным инструментом диагностики дефектов в приповерхностных слоях и в тонких пленках. Разработана динамическая модель диффузного рассеяния рентгеновского излучения в кристалле с приповерхностными дефектами типа центров дилатации. Основная информация об искажениях кристаллической решетки вблизи поверхности заключена в диффузных компонентах рассеяния, сосредоточенных в окрестности когерентных пиков зеркально отраженной и зеркально дифрагированной волн. Для вычисления амплитуд диффузного рассеяния предложен новый подход, связанный с приближением искаженной волны (distorted wave Born approximation - DWBA). Фурье-компоненты атомных смещений выражены с помощью точных формул континуального приближения, которые получены с учетом сил изображения, обусловленных влиянием границы раздела. Рассчитаны карты интенсивности скользящего диффузного рассеяния на приповерхностных дефектах, хаотически расположенных в плоском слое. Для разных схем сканирования определены условия регистрации преимущественно диффузной составляющей в скользящей дифракции.

  Повний текст PDF - 551.952 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"