Визначено закономірності формування фазового складу і структури та рівень механічних напружень в нанорозмірних плівках CoSb_x(30 нм) (1,8 ≤ x ≤ 4,2) (65 - 81 ат. % Sb), отриманих методом молекулярно-променевого осадження на підкладки SiO2(100 нм) / Si (001) за температури 200 °C і відпалених у вакуумі в інтервалі температур (200 - 700) °C. Встановлено, що закономірність формування фазового складу в плівках Co - Sb після осадження визначається послідовністю згідно з діаграмою фазової рівноваги для масивного стану системи Co - Sb. Показано, що у разі відпалів плівок за температур вище 300 °C відбувається сублімація як надлишкової сурми, так і сурми з кристалічної фази CoSb₃, що призводить до зростання механічних напружень в 5 разів і супроводжується зменшенням розміру областей когерентного розсіювання фази CoSb₃, появою тріщин та подальшою деградацією плівкового матеріалу.

  Повний текст PDF - 363.168 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"