Відомо, що цифровим зображенням мікроповерхонь твердих тіл, одержаним на растрових електронних мікроскопах (РЕМ) різних типів, притаманні значні геометричні спотворення, які можна розділити на дві групи: лінійні (масштабні) та нелінійні (дисторсійні). Їх встановлення і врахування є вкрай важливим завданням, особливо під час створення різноманітних мікропристроїв із застосуванням сучасних нанотехнологій. Це запорука їх надійності, точності та ефективності. Для встановлення та дослідження дійсних значень основного метричного параметра РЕМ-106І - величин його збільшень (масштабу) використано спеціальні тест-об'єкти (голографічні тест-решітки з роздільними здатностями r = 1425 лін/мм і r = 3530 лін/мм), цифрові РЕМ-зображення яких одержано на РЕМ-106І в діапазоні збільшень від 1000<^>x до 30 000<^>x. Опрацювання (вимірювання) цифрових РЕМ-знімків виконано за допомогою спеціальної підпрограми "Test-Measuring" програмного комплексу "Dimicros". Одержані дійсні значення збільшень РЕМ-зображень тест-об'єктів показали, що їх відхилення від встановлених значень за шкалою РЕМ становлять: вздовж осі x знімка - від приблизно +2 % (за M<^>x від 1000<^>x до 5000<^>x) до -1 % (за M<^>x від 8000<^>x до 30 000<^>x), а вздовж осі y знімка - від +1 % (за M<^>x від 1000<^>x до 5000<^>x) до -4 % (за M<^>x від 8000<^>x до 30 000<^>x). Точність вимірів M<^>x становить приблизно - 0,5 %. Отже, спотворення масштабів РЕМ-зображень, одержаних на РЕМ-106І вітчизняного виробництва, є порівняно незначним. Однак під час високоточних досліджень кількісних параметрів мікроповерхонь твердих тіл його необхідно враховувати. Таке дослідження РЕМ-106І виконано в Україні вперше. Запропонована технологічна схема досліджень і використане авторське програмне забезпечення показали його ефективність і доцільність. Застосування цієї технології та встановлення дійсних значень збільшень (масштабу) цифрових РЕМ-зображень мікроповерхонь твердих тіл надає змогу з високою точністю встановлювати їх просторові кількісні параметри, а отже, підвищувати надійність та ефективність виготовлених з них пристроїв, механізмів, матеріалів тощо.

  Повний текст PDF - 1.4 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"