З використанням підходів і методів нерівноважної термодинаміки та механіки суцільних середовищ одержано повну систему рівнянь для опису взаємозв'язаних механотермодифузійних процесів у деформівному хімічно інертному n-компонентному твердому розчині (ТР) з урахуванням необоротності процесу локального зміщення маси (ЛЗМ). Показано, що наслідком врахування необоротності процесу ЛЗМ є реологічні визначальні співвідношення. Побудована модель дозволяє дослідити, зокрема, динаміку становлення приповерхневої неоднорідності напружено-деформованого стану ТР та вивчити за об'ємного підходу закономірності розподілу компонент ТР у приповерхневих областях. Відтак вона є ефективною під час дослідження тонких плівок, волокон, які характеризуються співвимірністю вкладів поверхневого та об'ємного чинників у внутрішню енергію.