Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер "Mozilla Firefox" |
|
|
Пошуковий запит: (<.>U=З844.15-06 с116<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
1. | РА341523 Кириллов, Андрей Николаевич. Оптимизация процессов электронной литографии при формировании сложных структур с субмикронным разрешением [Текст] : автореф. дис... канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Кириллов Андрей Николаевич ; АН СССР, Физико-технологический ин-т. - М., 1990. - 18 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу: Физико-технологический институт; АН СССР; Физико-технологический институт
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|
|