Ж42214/2009/515
Forschungszentrum Dresden-Rossendorf .
Wissenschaftlich-Technische Berichte [FZD] [Text] / Forschungszentrum Dresden-Rossendorf . - Dresden : FZR. - ISSN 1437-322X.
№ 515 : An investigation of target poisoning during reactive magnetron sputtering / Dominik Güttler. - Dresden : FZD, 2009. - 114 p. : il., tab. - Рез. нім. - Бібліогр.: с.105-112

Рубрикатор НБУВ:
 В333.63,022 
 В333.11,022 
Тематичні рубрики:
 Дисертації < Магнітне утримання плазми. Магнітні уловлювачі > 
 Дисертації < Генератори (джерела) і прискорювачі плазми > 


Дод. точки доступу:
Forschungszentrum Dresden-Rossendorf

2009
№ 515

Видання зберігається у :
Основний фонд