|
|
РА347737
Хидиров, Муродали Саидович.
Разработка плазмохимических методов получения полупроводниковых карбидных и нитридных пленок и порошков [Текст] : автореф. дис... канд. техн. наук: 02.00.04 / Хидиров Муродали Саидович. - Душанбе, 2006. - 22 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|