|
|
РА453269
Чала, Олена Олександрівна.
Технологічне забезпечення якості поверхонь підкладок функціональних компонентів мікрооптоелектромеханічних систем [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / Чала Олена Олександрівна ; Харків. нац. ун-т радіоелектроніки. - Харків, 2021. - 24 с. : рис., табл.Рубрикатор НБУВ: УДК: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Харківський національний університет радіоелектроніки
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|