|
РА342457 Замулко, Сергій Олександрович. Формування силіцидних фаз при реакційній дифузії в системах "плівкові шари (5-30 нм) Ni Ti, - монокристалічний кремній" [Текст] : автореф. дис... канд. техн. наук: 05.16.01 / Замулко Сергій Олександрович ; Національний технічний ун-т України "Київський політехнічний ін-т". - К., 2006. - 21 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу: Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут" (Київ)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|