|
|
ДС52378
Підлипний, Юрій Васильович.
Розробка моделей, методів та алгоритмів діагностики технологічних процесів виготовлення ІС [Текст] : дис... канд. техн. наук: 05.13.05 / Підлипний Юрій Васильович ; Державний ун-т "Львівська політехніка". - Львів, 1996. - 197 л.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Державний університет "Львівська політехніка"
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|