ІВ222046
Krupinski, Martin.
Geometrie-Charakterisierung von Halbleiter-Mikrostrukturen mittels Infrarot-Strahlung [Text] : Diss. / Martin Krupinski ; Fak. Elektrotechnik und Informationstechnik der Techn. Univ. Dresden. - Dresden, 2014. - 120 S. : Abb. - Бібліогр.: с. 113-117

Рубрикатор НБУВ:
Тематичні рубрики:


Дод. точки доступу:
Technischen Universität (Dresden). Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik

Видання зберігається у :
Основний фонд