|
|
РА281432
Панков, Владимир Викторович.
Моделирование ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур? [Текст] : автореф.дис.канд.техн.наук:05.27.06 / Панков Владимир Викторович ; Минский радиотехнический ин-т. - Минск, 1993. - 20 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Минский радиотехнический институт
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|