|
|
РА281433
Свадковский, Игорь Витальевич.
Разработка высокоэффективных ионно-лучевых систем и технологических процессов формирования тонкопленочных структур с диапазоном энергии обрабатывающих ионов 1000-2000эВ [Текст] : автореф.дис.канд.техн.наук:05.27.06 / Свадковский Игорь Витальевич ; Минский радиотехнический ин-т. - Минск, 1993. - 20 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Минский радиотехнический институт
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|