|
РА292962 Підлипний, Юрій Васильович. Розробка моделей, методів та алгоритмів діагностики технологічних процесів виготовлення ІС [Текст] : автореф. дис... канд. техн. наук: 05.13.05 / Підлипний Юрій Васильович ; Державний ун-т "Львівська політехніка". - Львів, 1996. - 19 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу: Державний університет "Львівська політехніка"
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|