В355030/1
Пазуха, Ірина Михайлівна
Фізичні властивості плівкових матеріалів мікро- і наноелектроніки [Текст] : навч. посіб. : у 2 ч. / І. М. Пазуха, І. Ю. Проценко, І. В. Чешко ; за ред. І. Ю. Проценка ; Сум. держ. ун-т. - Суми : Сум. держ. ун-т, 2014.
Ч. 1. - 2014. - 229 с. : рис., табл. - Бібліогр.: с. 220-229. - 300 прим.

Рубрикатор НБУВ:
Тематичні рубрики:


Дод. точки доступу:
Проценко, Іван Юхимович; Чешко, Ірина Володимирівна; Проценко, Іван Юхимович \ред.\; Сумський державний університет

Видання зберігається у :
Основний фонд