|
|
РА288610
 Назаров, Олексій Миколайович.
Процеси формування тонких діелектричних та приповерхневих напівпровідникових шарів у кремнієвих структурах при нерівноважних впливах [Текст] : автореф. дис...д-ра фіз.-мат. наук: 01.04.10 / Назаров Олексій Миколайович ; АН України, Ін-т фізики напівпровідників. - К., 1993. - 27 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Академія наук України (Київ); Інститут фізики напівпровідників (Київ)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|