|
|
РА288356
 Матвійків, Олег Михайлович.
Розробка моделей і методів газофазного осадження в вузлах складної форми для технологічних САПР РЕЗ [Текст] : автореф. дис...канд. техн. наук: 05.13.05 / Матвійків Олег Михайлович ; Університет "Львівська політехніка". - Львів, 1995. - 20 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Університет "Львівська політехніка"
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|