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ІВ219034
Gumprecht, Thomas.
Entwicklung von Verfahren für die reflektometrische Schichtdickenmessung und Materialcharakterisierung von dielektrischen Schichten im Vakuum-UV-Bereich bis 120 nm Wellenlänge [Text] : Diss. / Thomas Gumprecht ; Techn. Fak. der Friedrich-Alexander-Univ. Erlangen-Nürnberg. - Erlangen-Nürnberg : [s. n.], 2014. - VIII, 201 S. : Abb. - Бібліогр.: с. 163-170Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
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Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg. Technischen Fakultät
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