|
|
РА398221
Севрюкова, Вікторія Анатоліївна.
Вплив параметрів магнетронного осадження та товщини молібденового шару на структурні перетворення в багатошарових покриттях Mo/Si [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.07 / Севрюкова Вікторія Анатоліївна ; Нац. акад. наук України, Ін-т електрофізики і радіац. технологій. - Х., 2013. - 20 с. : рис.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Національна академія наук України; Інститут електрофізики і радіаційних технологій (Харків)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|