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ІВ215612
Sobe, Udo.
Anregung und Auswertung von resonanten mikromechanischen Strukturen mit elektrostatischem Antrieb und kapazitivem Detektor in Mikrosystemen [Text] : Diss. / Udo Sobe ; Fak. Elektrotechnik der Techn. Univ. Dresden. - Aachen : Shaker Verlag, 2004. - 176 S. : Abb. - (Berichte aus der Elektrotechnik, ISSN 0945-0718). - Бібліогр.: с. 168-176. - ISBN 3-8322-2512-9Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Technischen Universität (Dresden). Fakultät Elektrotechnik
Видання зберігається у :
Основний фонд
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