|
|
ВА744333
 Матюшин, Володимир Михайлович.
Радикалорекомбінаційна обробка мікроструктур [Текст] : моногр. для наук. робітників, технологів, аспірантів, магістрів, які спеціалізуються в обл. мікро та наноелектрон. / В. М. Матюшин, Є. Л. Жавжаров ; Запоріз. нац. техн. ун-т. - Запоріжжя : ЗНТУ, 2011. - 195 с. : рис. - Бібліогр.: с. 168-195. - 300 прим. - ISBN 978-617-529-041-5Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Жавжаров, Євген Леонідович; Запорізький національний технічний університет
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|